濺射靶材
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相關知識
產品名稱:氧化銦鎵鋅 靶材
純度:99.99%
濺射方式:射頻濺射
注意事項:靶材表面如果會發黑,或是因為有In析出,尤其是氧氣一少更容易發黑,因為In是+2價的,建議濺射過程中補入氧氣
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